电子行业解决方案:
电子行业一般可以分为电子元件及部件、印刷线路板、电真空器件、半导体制造(半导体分立器件及集成电路)、平板显示器和电子终端产品装配等几大主要部分。其中,平板显示器TFT-LCD 生产过程中要使用多种化学试剂,线路板生产、TFT-LCD等生产排放的废气分为酸性气体、碱性气体、有毒气体等。主要产生于基板清洗、化学气相沉积(CVD)、刻蚀、剥离(去胶)、涂取向膜等主要工艺过程。
针对上述生产工艺中产生的盐酸、硫酸、氢氟酸酸雾及氨气等通常采用中和吸收方法;针对HCN、硝酸酸雾/NOx、其他碱性废气,通常采用中和吸收+氧化还原+中和吸收组合方法。
中和吸收技术:
工艺流程:
首先,酸性(碱性)废气经过车间排气风机引至入口静压箱;然后,进入中和吸收塔;再次,通过喷淋循环泵将中和吸收液送至填料塔,酸碱废气在喷淋及填料区域实现中和反应;最后,通过引风机将处理后尾气排入大气。
技术特点:
A:工艺成熟、净化效率高;
B:采用进口吸收填料,空塔风更速大、直径更小,减小占地面积;
C:采用进口吸收填料,液气比更小、吸收液用量小、运行能耗低;
D:采用进口除雾填料,除雾效率高、为后续干式处理系统创造条件;
E:自动化程度高,操作简单,维护方便。
应用领域:
主要用于处理HF、HCL、H2SO4及NH2等废气处理。
广泛应用于半导体、光电、电子、线路板、电镀、珠宝、钢制品制造、纺织、冶金等行业。
中和+氧化还原+中和吸收技术
工艺流程:
首先,酸性(碱性)废气经过车间排气风机引至入口静压箱;然后,进入中和、氧化还原吸收塔;再次,通过喷淋循环泵将中和、氧化还原吸收液送至填料塔,酸碱废气在喷淋及填料区域实现中和、氧化还原反应;最后,进入二级中和吸收塔,通过引风机将处理后尾气排入大气。
技术优势:
A:组合工艺成熟、净化效率高;自动化程度高,操作简单,维护方便;
B:采用进口吸收填料,空塔风更速大、直径更小,减小占地面积;
C:采用进口吸收填料,液气比更小、吸收液用量小、运行能耗低;
D:采用进口除雾填料,除雾效率高、为后续干式处理系统创造条件;
E:采用自行研究配制的强氧化还原剂,有效解决黄烟、恶臭异味问题。
应用领域:
主要用于处理HNO2及H2S等溶解性吸收效果不好的酸性废气处理。
广泛应用于半导体、光电、电子、线路板、电镀、珠宝、化工、制药、塑胶、金属制品。